标签 > 质量流量控制器中的压电叠堆执行器：工作原理、多层陶瓷设计与制造解决方案

质量流量控制器（MFC）里的压电叠堆执行器依靠逆压电效应工作，和传统电磁阀相比，它响应速度快、位移是纳米到微米级别，适合半导体工艺里