标签 > 60nm超浅划痕怎么测：共聚焦为何拍不出三维轮廓

深度 60nm 的超浅划痕，用常规激光共聚焦显微镜很难拍出可用的三维轮廓，不是单纯调扫描参数、换物镜就能解决，核心是划痕深度和基材本底