江苏海思半导体（HISIGK）在 11 月开启集中批量交付，一批全自动双面对准掩模光刻机完成出厂调试，覆盖 12 寸、8 寸、6 寸三条产品线，陆续发往日本以及其他海外客户，买家包含当地 MEMS、AR 光波导、LED、化合物半导体厂商；需要特别区分，这家江苏海思和华为旗下海思不是同一家企业，它主打接触式、接近式以及步进式光刻，并不生产先进制程 EUV、DUV，这次集中出海，代表国产特色工艺光刻设备拿到更多海外量产订单，也是近期国产设备出海浪潮里标志性的一批交付，设备面向光电器件、传感器、功率器件赛道，而非高端逻辑芯片制程。
这批设备能够批量外销，是因为全球 MEMS、光波导、第三代半导体产线对这类掩模对准机需求稳定，而国产机型在双面套准、自动化上下料、曝光均匀度、交付和售后成本上形成竞争力；此前江苏海思从 2024 年就开始对外出口，上个月刚完成第 17 台出口设备发往欧洲，海外客户验证周期已经走完，口碑逐步铺开；同时这条赛道门槛和先进制程光刻完全不同，避开了最严苛的国际管制，更容易打开海外市场；厂商也在持续迭代，推出 350nm、500nm 分辨率步进机型，持续扩充产品矩阵。
整套交付流程是先在洁净车间完成工艺调试、客户现场验收，之后拆封打包、海运出境；海外客户可以选配 FOUP 天车上料、SMIF 接口、背面双光路对准模块，直接对接自动化量产黄光产线；设备落地之后，厂家同步提供海外驻场调试、工艺联合开发、定期维护。
本次交付设备清单
- 12 寸机型，共 5 台：其中 3 台支持 FOUP 天车自动上料，适配 AR 光波导、超表面光学、硅基微透镜，主打高精度双面套刻
- 8 寸机型，共 4 台：双面自动对准光刻机，面向 MEMS 传感器、微流控、硅基 Micro LED
- 6 寸机型，共 5 台：全自动接触式光刻，主打氮化镓、碳化硅功率器件、LED 芯片
核心硬件指标
- 对准精度：正面 ≤ ±0.5～1 μm，背面 ≤ ±2 μm
- 光源：标配 365 nm UV‑LED，可选 405 nm / 435 nm，照度均匀度 ≤ 3%
- 传输方案：真空机械手、闭环全自动上下料，支持标准晶圆盒
- 机型路线：掩模对准光刻机（Mask Aligner）、步进式投影光刻机
产品线对比
| 晶圆尺寸 | 典型应用场景 | 核心亮点 |
|---|---|---|
| 12 英寸 | AR 光波导、超表面、硅基光学器件 | FOUP 自动上料，双面高精度套准 |
| 8 英寸 | MEMS、微流控、Micro LED | SMIF 接口，适配自动化产线 |
| 6 英寸 | GaN / SiC、LED、功率器件 | 曝光均匀，良率稳定，性价比突出 |
容易混淆的要点
- ✦：江苏海思 ≠ 华为海思，二者完全独立，业务没有关联
- ✦：不属于 EUV / 先进 DUV，不用于 7 nm、14 nm 逻辑芯片
- ✦：属于特色工艺光刻，适合光芯片、传感器、第三代半导体
- ✦：出海订单是逐步积累，不是一次性大规模抢占先进芯片产线
【相关 FAQ】
问题 1：这次集中出海交付光刻机的江苏海思，是不是华为海思？
回答 1：不是，江苏海思半导体科技（HISIGK）是独立设备厂商，和华为旗下海思没有关系，专门做掩模对准、步进式光刻设备。
问题 2：江苏海思 11 月这批出海光刻机，包含哪几种晶圆尺寸？
回答 2：本次交付包含 12 寸、8 寸、6 寸全自动光刻机，一共 14 台，定向供给日本以及其他海外特色半导体厂商。
问题 3：江苏海思这款出海光刻机能不能用来制造先进制程逻辑芯片？
回答 3：不能，它属于接触 / 接近式掩模对准光刻设备，面向 AR 光波导、MEMS、第三代半导体、LED，并非用于先进逻辑芯片的 EUV、DUV。
问题 4：江苏海思此前有没有光刻机出海记录？
回答 4：有的，从 2024 年起就持续对外出口，在本次 11 月集中交付之前，10 月刚交付第 17 台出口设备，目的地为欧洲。
【参考资料】
[2026-11-09]（国产光刻机出海潮！海思光刻机 11 月集中交付：12 寸 / 8 寸 / 6 寸齐发日本等国）凤凰网科技
[2026-11-09]（国产光刻机出海潮！江苏海思多尺寸掩模对准机发往海外）快科技
[2026-10-16]（国产光刻机杀入欧洲！海思第 17 台设备通过验收）新浪财经
[2026-10-14]（江苏海思 8 英寸全自动光刻机发运）半导体产业网
【免责声明】
本文信息来自江苏海思官方披露与公开媒体报道；本次交付设备为特色工艺掩模对准光刻机，并非先进制程光刻设备；订单数量、客户名单、交付周期以企业商务信息为准；国产光刻设备在先进逻辑芯片领域仍存在较大差距，报道不代表已经实现先进制程光刻机出口。