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天大马凯学团队在《Engineering》刊发集成悬置线 ISL 综述,系统梳理原创射频异构集成技术

天津大学微电子学院马凯学教授团队,在中国工程院院刊《Engineering》在线发表集成悬置线(ISL)的长篇综述论文,这篇文章是团队对自主原创、持续深耕多年的 ISL 技术做一次全局性梳理总结,论文标题为《Integrated Suspended Line: A New Heterogeneous Integration for 5G/6G RF Integrated Circuits》,天津大学微电子学院是唯一完成单位,马凯学担任第一作者,马凯学与王勇强副教授为共同通讯作者;当下 5G-A、6G、大规模相控阵、通感一体化、低轨卫星互联网都往毫米波、太赫兹高频走,传统波导损耗低但体积大不好集成,普通微带线、共面波导高频下介质和辐射损耗飙升,ISL 方案刚好把两者优势捏合在一起,靠多层准平面空气腔结构,信号线悬浮在空腔里面,电磁场主要在空气中传播,既能压低损耗,又可以和平面工艺兼容,自带电磁屏蔽自封装能力,支持无源器件、有源芯片、天线一体化异构集成,给高频射频前端提供一条新路线。下面把论文基础信息、ISL 原理、分支类型、技术优势、应用场景、发展历程拆开整理清楚。

一、这篇 ISL 综述论文基础清单

  1. 期刊:中国工程院英文院刊《Engineering》
  2. 论文主题:面向 5G/6G 射频集成电路的集成悬置线异构集成新技术
  3. 作者信息:马凯学第一作者,马凯学、王勇强共同通讯
  4. 完成单位:天津大学微电子学院(唯一单位)
  5. 文章性质:综述论文,不是单篇实验论文,覆盖原理、分支、工艺、应用、挑战全链条
  6. 上线状态:已经在线发表

二、集成悬置线 ISL 基础原理

ISL 属于三维异构集成平台,核心设计是在多层电路内部做出封闭空气腔,信号线悬空布置在空气腔内部:

  • 电磁场集中在空气,大幅削减介质损耗、辐射损耗
  • 金属通孔与侧壁金属形成封闭屏蔽腔,自带自封装效果,减少额外封装成本
  • 多层多腔架构,可同时放置滤波器、功分器、功放、低噪放、天线阵列,实现系统级集成

三、ISL 主要分支对比表

分支缩写全称工艺基底特点
SISL介质集成悬置线PCB 介质基板成本低,适合毫米波射频模组,产业化成熟度最高
HISL混合集成悬置线介质 + 金属复合结构兼顾损耗与装配灵活性
MISL金属集成悬置线金属板材功率容量高,适合大功率射频前端
Si-ISL硅基集成悬置线硅晶圆工艺适合和 CMOS 芯片共集成,面向片上太赫兹电路

四、ISL 对比传统射频传输线的优势清单

✅ 对比金属波导:体积更小、可平面化加工、成本更低,方便和芯片贴装集成

✅ 对比微带线 / 共面波导:高频毫米波、太赫兹场景损耗明显更低,辐射泄露更少

✅ 自带屏蔽腔体,减少电磁干扰,不用额外屏蔽壳,缩减模组体积

✅ 异构兼容:无源器件、有源芯片、天线阵列可以放在同一个平台

✅ 功率容量优于普通平面传输线,适合相控阵基站、卫星终端

五、论文重点覆盖的应用方向

  1. 5G-A、6G 毫米波相控阵基站前端
  2. 通感一体化 ISAC 射频模组
  3. 低轨卫星互联网地面终端、星载射频单元
  4. 毫米波成像雷达、安防感知设备
  5. 太赫兹集成电路与片上天线系统

六、ISL 技术发展时间线

  1. 2006 年:马凯学教授首次提出嵌入空气腔准平面电路概念,提交国际专利,是 ISL 源头
  2. 2013 年之后:团队系统性推进 SISL、HISL、MISL、Si-ISL 多个分支研发
  3. 多年持续产出:滤波器、功放、天线阵列、成像系统等多款电路成果
  4. 本次发表:在《Engineering》发布综述,对外完整总结整套技术体系

七、现阶段技术局限与待解决问题清单

❌ 空气腔结构对 PCB、硅基加工精度要求高,良率管控有门槛

❌ 高频 Si-ISL 硅基版本工艺成本偏高,距离大规模商用还有距离

❌ 面向更高太赫兹频段的封装、散热方案还需要持续迭代

❌ 行业生态还在培育,配套 EDA 设计工具不如传统微带线成熟

【相关 FAQ】

问题 1:马凯学教授团队在《Engineering》发表的集成悬置线 ISL 综述,主要总结什么内容?

回答 1:马凯学教授团队在《Engineering》发表的集成悬置线 ISL 综述,系统梳理这套原创射频异构集成技术的原理、四大分支、工艺路径、电路实现、5G/6G 等高频应用,同时点明现存技术挑战。

问题 2:集成悬置线 ISL 和普通微带线、金属波导相比,核心差别在哪?

回答 2:集成悬置线 ISL 内部带封闭空气腔,信号线悬浮在空腔里,电磁场主要在空气中,高频损耗远低于微带线;同时它是准平面结构,不像传统金属波导体积笨重,更容易和芯片、天线做一体化集成。

问题 3:这篇集成悬置线 ISL 综述论文,是实验成果论文吗?

回答 3:不是,马凯学团队这篇集成悬置线 ISL 文章属于综述论文,不是单次实验结果,是对团队近二十年原创 ISL 技术体系的系统性汇总。

问题 4:集成悬置线 ISL 主要可以用在哪些通信雷达场景?

回答 4:集成悬置线 ISL 主打 5G-A、6G 毫米波相控阵、通感一体化模组、低轨卫星终端、毫米波雷达、太赫兹成像电路等对低损耗、小型化有要求的射频前端场景。

【参考资料】

[2026-11-06](微电子学院马凯学教授团队在中国工程院院刊《Engineering》发表集成悬置线(ISL)综述论文)天津大学新闻网

[2026-11-04](微电子学院马凯学教授团队在中国工程院院刊《Engineering》发表集成悬置线(ISL)综述论文)天津大学微电子学院官网

[2026-03-05](天津大学马凯学团队:基于 ISL 平台的毫米波缝隙阵列天线登上期刊亮点)天津大学微电子学院

[2025-08-07](互联感知集成电路与系统团队研究成果介绍:集成悬置线 ISL)天津大学微电子学院

[2024-06-12](SISL 介质集成悬置线,国产毫米波射频新路线)电子元件技术网

【免责声明】

本文仅为高校公开科研资讯整理,不构成器件选型、商业落地指导。集成悬置线 ISL 为前沿射频异构集成技术,不同分支工艺成熟度差异较大,硅基 Si-ISL 等路线仍处在实验室研发阶段;综述论文为学术总结,不等于相关产品已经实现产业化量产,技术落地、良率、成本仍存在不确定性,所有技术细节以论文原文和天津大学团队后续公开成果为准。