标签 > 佳能发售KrF半导体光刻机“FPA－6400ES6a” 实现高生产率和业界高水平套刻精度

佳能在 11 月 10 日正式对外官宣，新款 KrF 扫描式半导体光刻机 FPA-6400ES6a 确定发售，计划 2026 年 12 月上旬推向市场，这