基于 MEMS 的无铅 PMUTAlN/ScAlN 超声换能器为植入式生物传感器提供无线供能方案

核心结论先讲清楚:植入式生物传感器正在往微型化、低功耗方向走,体内电子系统在有限空间里持续供电是一道硬门槛;基于 MEMS 工艺的无铅